接触式干涉仪是一种立式精密长度计量仪器，采用量块或标准零件进行高精度比较。它主要用于测量150mm以下的块规，也可以用于高精度的长度和外径的精密测量。应用于半导体制造、光学制造准直仪制造、光学刻蚀制造、金属加工制造、航空航天制造等领域。接下来请跟着仪器检定校准机构华准计量，一起来具体了解一下接触式干涉仪校准。
   
检定前准备：进行接触式干涉仪的检定前，需要完成一系列的准备工作。包括清洁仪器，检查仪器的外表面及光路是否干净，如有污物需清理干净。同时确认校准装置是否完好，并确认校准装置与仪器之间的连接是否正常。还要确认测量基准是否与被测物体表面垂直，以及测量过程中是否会发生位移。
 
接触式干涉仪校准：通过校准仪器的干涉条纹对齐，使其适应被测物体表面的形态，以实现精确测量。
 
接触式干涉仪稳定性校准：通过比较同一光源下的两个干涉图案，来检测干涉仪系统的稳定性。
 
接触式探头校准：通过使用标准刀具进行校准，来确保探头的测量精度和稳定性。
 
另外，JJG101-2004《接触式干涉仪》检定规程还规定，仪器的示值误差以二等量块配对法检定，检定工作应在分度值为0.2μm、受检点为50分度时进行。检定时需要将滤光片放置在仪器上，调整干涉条纹使其对齐，以完成定标工作。示值误差的计算方法为Δ=0.03+1.5ni—刻度尺的分度值。在完成检定后，应该记录各个检定点的示值误差并进行数据处理。
 
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